Абсолютный выход фотонов с поверхности кремния при электронном и ионном облучении

Abstract

Изучены характеристики оптического излучения, которым сопровождается бомбардировка поверхности кремния электронами и ионами средних энергий. Наблюдаемое при этом непрерывное излучение связывается с межзонными электронными переходами. Характеристическое излучение, которое также имеет место в обоих случаях, в случаи ионной бомбардировки испускается распыленными в возбужденном состоянии атомами кремния и рассеянными ионами гелия, а в случаи электронной бомбардировки - десорбированными возбужденными атомами и молекулами остаточной атмосферы, которыми покрытая исследуемая поверхность кремния.