Особливості напилення плівок компонентами плазм, створеної наносекундними лазерними імпульсами

Жигуц, Юрій Юрійович; Опачко, Іван Іванович; Опачко, Магдалина Василівна

Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/49325

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Жигуц, Юрій Юрійович	-
dc.contributor.author	Опачко, Іван Іванович	-
dc.contributor.author	Опачко, Магдалина Василівна	-
dc.date.accessioned	2023-03-20T07:16:54Z	-
dc.date.available	2023-03-20T07:16:54Z	-
dc.date.issued	2021	-
dc.identifier.citation	Жигуц Ю. Ю. Особливості напилення плівок компонентами плазм, створеної наносекундними лазерними імпульсами / І. І. Опачко, Ю. Ю. Жигуц, М. В. Опачко // Фізико-хімічна механіка матеріалів. / гол. ред. З. Т. Назарчук. – Львів : ТзОВ “Простір-М”, 2021. - Т. 57, № 4. - С. 139-144.	uk
dc.identifier.issn	0430-6252	-
dc.identifier.uri	https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/49325	-
dc.description.abstract	Розроблено спосіб формування періодичних структур під час опромінення цугом лазерних імпульсів, який забезпечує якісні гетерогенні і субґраткові структури за дотримання встановлених умов.	uk
dc.description.abstract	The method of the formation of periodic structures under irradiation by a train of laser pulses, which ensures the production of qualitative heterogeneous and sublattice structures provided that the conditions established in the work are observed, has been developed	uk
dc.language.iso	uk	uk
dc.subject	цуги	uk
dc.subject	лазерні імпульси	uk
dc.subject	мішень	uk
dc.subject	фаза	uk
dc.subject	напилення	uk
dc.subject	періодичні структури	uk
dc.subject	pulse group	uk
dc.subject	laser pulses	uk
dc.subject	target	uk
dc.subject	phase	uk
dc.subject	sputtering	uk
dc.subject	periodic structures	uk
dc.title	Особливості напилення плівок компонентами плазм, створеної наносекундними лазерними імпульсами	uk
dc.type	Text	uk
dc.pubType	Стаття	uk
Appears in Collections:	Наукові публікації кафедри технології машинобудування

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
PHKhMM_2021_57_4_1.pdf		824.6 kB	Adobe PDF	View/Open
PHKhMM_2021_57_4_22 (1).pdf		191.65 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record