СПЕКТРАЛЬНИЙ СКЛАД ВИПРОМІНЮВАННЯ ПОВЕРХНІ КРЕМНІЮ ПРИ БОМБАРДУВАННІ ІОНАМИ І ЕЛЕКТРОНАМИ СЕРЕДНІХ ЕНЕРГІЙ

Abstract

Методом електрон-фотонної емісії (ЕФЕ) та іон-фотонної емісії (ІФЕ) ви- вчено спектральний склад поверхні кремнію при бомбардуванні електронами і іонами середніх енергій Пояснено виявлені особливості в отриманих спектрах. Обчислено абсолютний вихід фотонів з поверхні кремнію при бомбардуванні електронами з енергією 800 еВ в діапазоні довжин хвиль 200-800 нм, який ста- новить N ≈ 6,9×10-4 фот./ел.