Еліпсометричне дослідження оптичної однорідності тонких плівок халькогенідного скла As2S3

Abstract

В рамках двох підходів – моделі однорідної ізотропної плівки та моделі неоднорідної по товщині плівки, профіль показника заломлення якої апроксимовано трьома ізотропними однорідними шарами, на основі еліпсометричних вимірювань розраховувались оптичні константи тонких плівок склоподібного As2S3 різної товщини. Показано, що більш адекватною являється друга модель.In the framework of two approaches – a uniform isotropic film model and a variable thickness film model optical constants of glassy As2S3 thin films of different thickness were calculated on the basis of ellipsometric measurements. The second method is shown to be more adequate.