Виготовлення елементів захисту інформації на плівці As4Se96 методом електронно–променевої літографії
Дата
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Вид-во УжНУ "Говерла"
Анотація
Досліджені особливості взаємодії електронного променя з халькогенідними плівками As4Se96. Вказано на існування точки інверсії електронно індукованого поверхневого рельєфу. На плівці As4Se96 реалізовано процес виготовлення оригіналу захисного елементу згідно зображення логотипу методом сухої електронної літографії.
Опис
Тип публікації
Text
Тип текстової публікації
Стаття
ISSN
Ключові слова
електронна літографія, захисний елемент., халькогенідні плівки
Бібліографічний опис
Біланич, Б. Виготовлення елементів захисту інформації на плівці As4Se96 методом електронно–променевої літографії [Текст] / Б. Біланич, О. Шиленко, В. т. Команіцкій // Науковий вісник Ужгородського університету : серія: Фізика / відп. ред. В. Різак; відп. за вип. М. Мар’ян. – Ужгород : Видавництво УжНУ "Говерла", 2017. – Вип. 42. – С. 8-12. – бібліогр.:с.8-12.