ВУФ-лампа на смесях инертных газов с молекулами воды с накачкой импульсно-периодическим емкостным разрядом

Abstract

Приводятся спектральные характеристики излучения плазмы импульсно-периодического емкостного разряда в смесях паров воды с гелием и аргоном в диапазоне 140—315 нм. В ВУФ- области спектра наиболее интенсивны полосы с максимумами при 156.0, 180.3, 186.0 нм, в области 300—315 нм — полосы с максимумами при 312.1 и 313.4 нм. Проведена оптими- зация яркости излучения плазмы емкостного разряда в зависимости от парциального давления гелия, аргона и паров воды. Для разряда на смеси аргона с парами воды выполнен расчет элек- тронных кинетических коэффициентов в диапазоне изменения параметра E/N = 1—1000 Тд.