Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/28546
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКотляревский, М. Б.-
dc.contributor.authorКидалов, В. В.-
dc.contributor.authorРевенко, А. С.-
dc.date.accessioned2020-03-02T08:47:49Z-
dc.date.available2020-03-02T08:47:49Z-
dc.date.issued2001-
dc.identifier.citationКотляревский, М. Б. Радикало–лучевая геттерирующая эпитаксия–новый метод в технологии полупроводниковых материалов F3B5 [Текст] / М. Б. Котляревский, В. В. Кидалов, А. С. Ревенко // Науковий вісник Ужгородського університету : серія: Фізика / редкол.: І. Небола (відпов. ред.), Д. Блецкан, О. Герзанич та ін. – Ужгород : ПП "Шарк", 2001. – Вип. 10. – C. 217-220. – Библиогр.: с. 200 (6 назв). – Рез. англ.uk
dc.identifier.urihttps://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/28546-
dc.language.isoruuk
dc.publisherПП "Шарк"uk
dc.titleРадикало–лучевая геттерирующая эпитаксия–новый метод в технологии полупроводниковых материалов F3B5uk
dc.typeTextuk
dc.pubTypeСтаттяuk
Appears in Collections:Науковий вісник УжНУ Серія: Фізика. Випуск 10 - 2001



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.