Наносекундний розряд в повітрі атмосферного тиску з ектонним внесенням парів заліза і міді в плазму та його застосування в нанотехнологіях

Abstract

Наведено характеристики перенапруженого наносекундного розряду між електродами з нержавіючої сталі та електродом з міді і нержавіючої сталі в повітрі атмосферного тиску при міжелектродній віддалі d = 3 мм. Показано, що плазма такого розряду є джерелом УФ-випромінювання в спектральному діапазоні 200-300 нм на переходах атомів та іонів Заліза і Міді. Енергетичний внесок в плазму розряду досягав 0,1 Дж. Синтезовано тонкі наноструктуровані плівки оксидів Заліза при асистуванні процесу напилення ультрафіолетовим випромінюванням розряду.