Випромінювання плазми поперечного розряду на сумішах аргону з SF6

Abstract

В області ƛƛ120…340нм досліджено випромінювання плазми газового розряду сумішей Ar-SF6, He-Ar- SF6 та Ne-SF6. Виявлено, що спектри складаються з смуги ƛ193,3нм ArF*, ВУФ спектральних ліній атомів SI та широкої смуги при ƛ>200нм, яка є суперпозицією ƛƛ270...290 нм ArF*2, ƛƛ200...l280нм Ar*2 і Ar+* 2, ƛƛ280…340нм S2 молекулярних смуг. Розглядається механізм утворення в розряді молекул ArF* і можливість створення на базі досліджених сумішей джерела когерентного або широкосмугового спонтанного випромінювання.

In ƛƛ120…340 nm spectral regions the emission of radiation by gas discharge plasma of Ar-SF6, He-Ar- SF6 and Ne-SF6 mixtures were investigated. Spectrums include the ƛ193,3nm ArF*, VUV spectral lines of SI atoms and extensive ƛ>200nm bands, which are the superposition of ƛƛ270...290 nm ArF* 2, ƛƛ200...l280nm, Ar*2 and Ar+* 2, ƛƛ280…340нм. S2 molecular bands. The formation mechanism of ArF*molecules and possibility to design a coherent or extensive band source of light are discussed.