Умови синтези наноструктур оксиду Цинку з продуктів деструкції перенапруженого наносекундного розряду між електродами з цинку в кисні під опромінюванням підкладинки ультрафіолетовим випроміненням

Abstract

Наведено характеристики та параметри плазми перенапруженого наносекундного розряду, який запалювався між електродами з цинку в кисні (р=13,3 і 101,3 кПа). Пари Цинку вносилися у розряд за рахунок мікровибухів природніх неоднорідностей на поверхнях цинкових електрод у сильному електричному полі. Це створює передумови для синтези тонких наноструктурованих плівок оксиду Цинку, які можуть бути осаджені на твердій діелектричній підкладинці, встановленій біля сис-теми електрод. Представлено результати дослідження оптичних харак-теристик перенапруженого наносекундного розряду із величиною роз-рядного проміжку d=2 мм. Ідентифікація спектрів випромінення плазми дала змогу встановити основні збуджені продукти плазми, які формують спектер УФ-випромінення плазми та виступають одночасно імпульсним джерелом кластерів і малих наночастинок оксиду Цинку. Методом числового моделювання параметрів плазми розряду на парах Цинку та кисню, яке ґрунтується на розв’язку Больцманнового кіне-тичного рівняння для функції розподілу електронів за енергіями, роз-раховано параметри плазми: Те (температуру), Ne (густину електронів), питомі втрати потужності розряду на основні електронні процеси та константи швидкості електронних реакцій в залежності від величини відношення E/N (де E — напруженість електричного поля, N — повна концентрація частинок розряду).