СПОСІБ СИНТЕЗУ ТОНКИХ ПЛІВОК НА ОСНОВІ ЧЕТВЕРНОГО ХАЛЬКОПІРИТУ СuАІІnSe2

Abstract

Винахід належить до фізики низькотемпературної плазми й нанотехнологій. Спосіб синтезу тонких плівок на основі четверного халькопіриту в азоті атмосферного тиску заснований на розпорошенні матеріалу алюмінієвого і халькопіритового електродів СиІпSе2 у сильному електричному полі перенапруженого наносекундного розряду, який запалюється від біполярного джерела імпульсів високої напруги наносекундної тривалості. Для синтезу тонких плівок використано явище вибухової емісії неоднорідностей на поверхні алюмінієвого і халькопіритового електродів у сильному електричному полі, що створює потік парів міді, ІНДІЮ, селену і алюмінію, який в подальшому конденсується у формі тонкої плівки на основі четверної сполуки СиАІІпввг на встановленій поблизу діелектричній підкладці. Винахід забезпечує спрощення способу.