Оптические свойства наноразмерных металлических пленок на поверхности диэлектрика.

Abstract

В работе предложен новый метод определения состава, степени окисления, шероховатости и толщины наноразмерных металлических пленок, нанесенных на диэлектрическую подложку. Метод основан на обработке экспериментальных спектров оптического пропускания и отражения, применении теории эффективной среды Бруггемана и формул Френеля. В приповерхностном слое пленки содержится медь и ее оксид (Cu2O), а под этим слоем – неокисленная медь. Результаты согласуются с данными, полученными методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Ключевые слова: нанопленка, медь, спектры оптического пропускания и отражения, теория Бруггемана, Cu2O.

The new method for the determination of the composition, oxidation degree, roughness and thickness of nanosized metal films on the dielectric substrate is proposed. Method is based on the treatment of experimental transmittance and reflectance optical spectra of nanofilms on substrate and theory of effective medium by Bruggeman and Fresnel formulae. The near-surface layer of films consists of cupper and copper oxide (Cu2O), and underneath – metal copper. Qualitatively these results are consistent with data obtained with X-ray photoelectron spectroscopy method. Key words: nanofilm, copper, transmittance and reflectance optical spectra, Bruggeman theory, Cu2O.