Эффективность магнитной сепарации макрочастиц в вакуумно-дуговых системах нанесения покрытий

Abstract

Изучена возможность транспортировки заряженных макрочастиц (МЧ) через магнитный фильтр вакуумно-дуговых источников плазмы. Показано, что при движении МЧ через криволинейный магнитный фильтр МЧ могут заряжаться как положительно, так и отрицательно. При условии существования отрицательного пространственного заряда (радиального электрического поля) в плазмоводе происходит изменение траектории заряженных макрочастиц. При этом в зависимости от параметров макрочастиц и плазмы, возможно их удержание внутри плазмовода. Получены условия, при которых происходит траспортировка макрочастиц через фильтр.

The possibility of transportation of the MP through a magnetic separator due to their capture by the electric field generated by the negative space charge. It is shown that under the condition of existence of space charge in the plasma duct interact positively charged particulates and negative space charge, resulting in a possible retention of particulate inside duct. We obtain the conditions under which transportation of the macroparticles through the magnetic separator occurs.