Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/39330
Title: Спосіб синтезу тонких наноструктурованих плівок на основі оксиду алюмінію
Authors: Шуаібов, Олександр Камілович
Миня, Олександр Йосипович
Гомокі, Золтан Тіборович
Малініна, Антоніна Олександрівна
Малінін, Олександр Миколайович
Keywords: тонкі наностуктуровані плівки, оксид алюмінію
Issue Date: 17-Mar-2021
Citation: UA 146783 U
Abstract: Спосіб синтезу тонких наноструктурованих плівок на основі оксиду алюмінію в повітрі атмосферного тиску включає вплив біполярного джерела імпульсів високої напруги наносекундної тривалості. Для синтезу плівок використовують явище вибухової емісії неоднорідностей поверхні алюмінієвих електродів у сильному електричному полі, що створює потік пари алюмінію, який окислюється продуктами деструкції молекул кисню і конденсується у формі тонкої наноструктурованої плівки на встановленій поблизу діелектричній підкладці
Type: Text
Publication type: Патент
URI: https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/39330
Appears in Collections:Наукові публікації кафедри квантової електроніки

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
146783.pdf313.24 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.