Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/39330| Title: | Спосіб синтезу тонких наноструктурованих плівок на основі оксиду алюмінію |
| Authors: | Шуаібов, Олександр Камілович Миня, Олександр Йосипович Гомокі, Золтан Тиберійович Малініна, Антоніна Олександрівна Малінін, Олександр Миколайович |
| Keywords: | тонкі наностуктуровані плівки, оксид алюмінію |
| Issue Date: | 17-Mar-2021 |
| Citation: | UA 146783 U |
| Abstract: | Спосіб синтезу тонких наноструктурованих плівок на основі оксиду алюмінію в повітрі атмосферного тиску включає вплив біполярного джерела імпульсів високої напруги наносекундної тривалості. Для синтезу плівок використовують явище вибухової емісії неоднорідностей поверхні алюмінієвих електродів у сильному електричному полі, що створює потік пари алюмінію, який окислюється продуктами деструкції молекул кисню і конденсується у формі тонкої наноструктурованої плівки на встановленій поблизу діелектричній підкладці |
| Type: | Text |
| Publication type: | Патент |
| URI: | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/39330 |
| Appears in Collections: | Наукові публікації кафедри квантової електроніки |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 146783.pdf | 313.24 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.