Технологія лазерного напилення плівок

Abstract

Для оптимізації технологічного процесу ефективного застосування ексимерних лазерів для потреб плівкових технологій необхідна інформація про основні параметри пари, що конденсується на підкладку. Однак, властивості плівок, отриманих розпиленням мішені наносекундними лазерними імпульсами та властивості парової фази практично не досліджувалися. У той же час, мас-спектрометричні та зондові дослідження парової фази дають змогу визначити низку важливих параметрів конденсації. Результатом проведених таких робіт стала розробка способу формування періодичних структур при опроміненні цугом лазерних імпульсів, який забезпечує отримання якісних гетерогенних і субграткових структур. Експериментальні та теоретичні дослідження вказують на можливість отримання періодичних структур при опроміненні цугом лазерних імпульсів при дотриманні встановлених в роботі умов.

In order to optimize the technological process of efficient use of excimer lasers for the needs of film technologies, information is needed on the main parameters of the vapour, which condenses on the substrate. However, the properties of films obtained by sputtering the target with nanosecond laser pulses and the properties of the vapour phase have not been studied in practice. At the same time, mass-spectrometric and probe studies of the vapour phase make it possible to determine a number of important condensation parameters. The work resulted in the development of a method for the formation of periodic structures upon irradiation by a train of laser pulses, which ensures the production of qualitative heterogeneous and sublattice structures. Experimental and theoretical studies indicate the possibility of obtaining periodic structures upon irradiation by a train of laser pulses, provided that the conditions established in the work are observed.