Синтез тонких плівок у плазмі імпульсно -періодичного розряду в суміші "S-He"

Abstract

Універсальна газорозрядна камера складалась з кварцової трубки довжиною 15 см і діаметром 4 см, вакуумних прокладок, діелектричних фланців, універсальних високовольтних входів, металевих електродів з регульованою міжелектродною відстанню, нагрівального елемента (за бажанням), шпильки для фіксації. Слід зазначити, що як буферний газ ми використовували неон, тиск якого в газорозрядній камері не перевищував 105 Па. У нашому експерименті напруга випрямляча становила до 6 кВ, а середній струм випрямляча ̶ 0,24 А. Значення накопичувальної ємності становило 1650 пФ при частоті повторення імпульсів від 1 до 10 кГц. Газорозрядна камера відкачувалась до вакууму 10-3 Па за допомогою форвакуумного насосу. Для напилення було використано сірку, розташовану в міжелектродному просторі. В результаті експерименту нами було отримано плівку сірки на поверхні предметного скла. На рис. 2 наведено зображення цієї плівки при 10х збільшенні.