Імпульсно-періодична безртутна лампа бар’єрного розряду на суміші криптону з елегазом.

Abstract

У роботі наведені результати експериментальної оптимізації імпульсно- періодичної бар’єрної лампи, що працює на малоагресивній робочій суміші Kr-SF6 при тисках порядку 21-23 кПа. Досліджено спектральні характеристики розряду та залежності яскравості смуги 248 нм KrF (ВХ) від тиску і складу робочої суміші, величини зарядної напруги робочої ємності високовольтного модулятора та частоти повторення імпульсів накачування. Проведено розрахунки електронних кінетичних коефіцієнтів у розряді на суміші Kr-SF6 при величинах E/N, що відповідають експериментальним значенням параметра E/N для лампи, що досліджувалась. Ключові слова: бар’єрна лампа, суміш Kr-SF6, кінетичні коефіцієнти, смуга 248 нм KrF (В→Х).

The results of experimental optimization of pulse-periodic lamp working with the help of low-corrosive working mixture Kr-SF6 with the pressure equal to 21-23 kPa have been presented in the given article. Spectral characteristic of the discharge and dependence of the 248 nm KrF (B→X) band brightness on the working mixture pressure and composition and charging voltage of the high-voltage modulator working capacity and pumping pulse frequency has been investigated. Calculations of electronic kinetic coefficients in the discharge on the Kr-Sf6 mixture with E/N value that is equal to experimental value of E/N characteristics of the lamp which was investigated have been made. Key words: pulse-periodic lamp, mixture Kr-SF6, 248 nm KrF (B→X) band, electronic kinetic coefficients.