Умови імпульсного газорозрядного синтезу тонких плівок оксиду вольфраму з плазми на суміші повітря з парами вольфраму

Abstract

Наведено характеристики високовольтного наносекундного розряду в газопарових сумішах «Air – W» при тисках повітря р = 101;13.3 кПа. Розряд запалювався між електродами з вольфраму. Утворення кластерів оксиду вольфраму в плазмі відбувалось в процесі внесення парів вольфраму в розрядний проміжок за ектонним механізмом, що створювало передумови для синтезу тонких плівок оксиду вольфраму (WO3), які осаджувались на скляній підкладці. Досліджені оптичні властивості розряду з центральної області проміжку завширшки 2 мм. Виявлено основні компоненти, що викликають збудження у плазмі парогазової суміші на основі вольфраму і повітря. Дослідження спектрів раманівського розсіювання лазерного випромінювання синтезованими в експерименті тонкими плівками показало, що це острівкові плівки оксиду вольфраму (WO3).