Умови газорозрядної синтези тонких плівок оксиду Вольфраму з імпульсної плазми на основі газопарової суміші «кисень– вольфрам»

Abstract

Наведено електричні й оптичні характеристики перенапруженого наносекундного розряду (ПНР) між електродами з вольфраму в кисні (р = 101, 13,3 кПа). Утворення кластерів і наночастинок оксиду Вольфраму в плазмі ПНР відбувалося в процесі внесення парів вольфраму в розрядний проміжок під час мікровибухів природніх неоднорідностей поверхні електрод у сильному електричному полі розряду й утворення ектонів. Це створювало передумови для синтези тонких плівок оксиду Вольфраму (WO3), які можуть осаджуватися на скляній підкладинці, встановленій поблизу розрядного проміжку. Досліджувались осцилограми імпульсів напруги та струму, імпульсна потужність і енергетичні внески в плазму за розрядний імпульс, а також спектральні характеристики ПНР. Встановлено основні збуджені складові плазми парогазової суміші на основі вольфраму та кисню. Методом мікрораманової спектроскопії синтезованих плівок показано, що вони складаються з оксиду Вольфраму (WO3).