Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/14604| Title: | Дослідження плівок оксиду цинку методами електронної і атомносилової мікроскопії та спектральної еліпсометрії |
| Other Titles: | Studies of ZnO films by electron and atomic force microscopy and spectral ellipsometry |
| Authors: | Поперенко, Л.В. Раков, М.В. Ткач, В.М. Юргелевич, І.В. |
| Keywords: | плівки оксиду цинку, метод електронної мікроскопії, метод атомносилової мікроскопії, метод спектральної еліпсометрії |
| Issue Date: | 2009 |
| Publisher: | Видавництво УжНУ "Говерла" |
| Citation: | Дослідження плівок оксиду цинку методами електронної і атомносилової мікроскопії та спектральної еліпсометрії [Текст] / Л. В. Поперенко, М. В. Раков, В. М. Ткач, І. В. Юргелевич // Науковий вісник Ужгородського університету : Серія: Фізика / ред. кол. : В. Різак, В. Біланич, Ю. Височанський, О. Грабар. – Ужгород: Видавництво УжНУ «Говерла», 2009. – Вип. 24. – С. 166–170. – Бібліогр.: с. 169–170 (3 назви). – Рез.– англ. |
| Abstract: | В цій статті описано мотивацію для дослідження оптичних властивостей плівок ZnO. Методом спектральної еліпсометрії визначено спектральні залежності еліпсометричних параметрів плівок. Методами растрово-електронної (РЕМ) та атомносилової (АСМ) мікроскопії отримано дані про структуру і шорсткість поверхонь плівок. Зроблено деякі висновки про властивості досліджуваних плівок. |
| Type: | Text |
| Publication type: | Стаття |
| URI: | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/14604 |
| Appears in Collections: | Науковий вісник УжНУ Серія: Фізика. Випуск 24 - 2009 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ДОСЛІДЖЕННЯ ПЛІВОК ОКСИДУ ЦИНКУ.pdf | 668.56 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.