Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/20030
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Шуаібов, Олександр Камілович | - |
dc.contributor.author | Опачко, Іван Іванович | - |
dc.contributor.author | Качер, І.Е. | - |
dc.contributor.author | Чучман, Михайло Петрович | - |
dc.date.accessioned | 2018-08-26T13:34:05Z | - |
dc.date.available | 2018-08-26T13:34:05Z | - |
dc.date.issued | 2009 | - |
dc.identifier.citation | Лазерні джерела випромінювання та їх застосування в мікроелектроніці : навч. посіб. / О. К. Шуаібов, І. І. Опачко, І. Е. Качер, М. П. Чучман. – Ужгород : Вид-во ДВНЗ "УжНУ", 2009. – 238 с. : табл., іл. – Бібліогр.: с. 231-232. | uk |
dc.identifier.uri | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/20030 | - |
dc.description | Рекомендовано до друку редакційно-видавничою радою УжНУ, Протокол № 1 від 24 березня 2009 року. | uk |
dc.description.abstract | Навчальний посібник “Лазерні джерела випромінювання та їх застосування у мікроелектроніці” підготовлено у відповідності до програм спеціальних курсів “Квантова електроніка”, “Фізика лазерів”, “Основи імпульсної техніки” і “Технологiя тонких плiвок», які вивчаються студентами старших курсів, що спеціалізуються на кафедрах квантової електроніки, твердотільної електроніки фізичного факультету та кафедри промислової електроніки інженерно-фізичного факультету. В навчальному посібнику висвітлено деякі питання фізики і техніки потужних лазерів та їх використання в лазерних технологіях виготовлення мiкроелектронних структур сучасних інтегральних схем високої ступені iнтеграцiї. | uk |
dc.language.iso | uk | uk |
dc.publisher | Видавництво УжНУ | uk |
dc.subject | лазерні джерела | uk |
dc.subject | випромінювання | uk |
dc.subject | мікроелектроніка | uk |
dc.subject | лазерне імпульсне осадження металів | uk |
dc.title | Лазерні джерела випромінювання та їх застосування в мікроелектроніці | uk |
dc.type | Text | uk |
dc.type | Image | uk |
dc.pubType | Навчальний посібник | uk |
Appears in Collections: | Наукові публікації кафедри квантової електроніки |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Metodicka54_druc.pdf | 3.66 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.