Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/20030
Название: | Лазерні джерела випромінювання та їх застосування в мікроелектроніці |
Авторы: | Шуаібов, Олександр Камілович Опачко, Іван Іванович Качер, І.Е. Чучман, Михайло Петрович |
Ключевые слова: | лазерні джерела, випромінювання, мікроелектроніка, лазерне імпульсне осадження металів |
Дата публикации: | 2009 |
Издательство: | Видавництво УжНУ |
Библиографическое описание: | Лазерні джерела випромінювання та їх застосування в мікроелектроніці : навч. посіб. / О. К. Шуаібов, І. І. Опачко, І. Е. Качер, М. П. Чучман. – Ужгород : Вид-во ДВНЗ "УжНУ", 2009. – 238 с. : табл., іл. – Бібліогр.: с. 231-232. |
Краткий осмотр (реферат): | Навчальний посібник “Лазерні джерела випромінювання та їх застосування у мікроелектроніці” підготовлено у відповідності до програм спеціальних курсів “Квантова електроніка”, “Фізика лазерів”, “Основи імпульсної техніки” і “Технологiя тонких плiвок», які вивчаються студентами старших курсів, що спеціалізуються на кафедрах квантової електроніки, твердотільної електроніки фізичного факультету та кафедри промислової електроніки інженерно-фізичного факультету. В навчальному посібнику висвітлено деякі питання фізики і техніки потужних лазерів та їх використання в лазерних технологіях виготовлення мiкроелектронних структур сучасних інтегральних схем високої ступені iнтеграцiї. |
Описание: | Рекомендовано до друку редакційно-видавничою радою УжНУ, Протокол № 1 від 24 березня 2009 року. |
Тип: | Text Image |
Тип публикации: | Навчальний посібник |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/20030 |
Располагается в коллекциях: | Наукові публікації кафедри квантової електроніки |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Metodicka54_druc.pdf | 3.66 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.