Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/20030
Title: ЛАЗЕРНІ ДЖЕРЕЛА ВИПРОМІНЮВАННЯ ТА ЇХ ЗАСТОСУВАННЯ В МІКРОЕЛЕКТРОНІЦІ
Authors: Шуаібов, Олександр Камілович
Опачко, Іван Іванович
Качер, І.Е.
Чучман, Михайло Петрович
Keywords: Лазерні джерела, випромінювання, мікроелектроніка, Лазерне імпульсне осадження металів
Issue Date: 2009
Publisher: Видавництво УжНУ
Abstract: Навчальний посібник “Лазерні джерела випромінювання та їх застосування у мікроелектроніці” підготовлено у відповідності до програм спеціальних курсів “Квантова електроніка”, “Фізика лазерів”, “Основи імпульсної техніки” і “Технологiя тонких плiвок», які вивчаються студентами старших курсів, що спеціалізуються на кафедрах квантової електроніки, твердотільної електроніки фізичного факультету та кафедри промислової електроніки інженерно-фізичного факультету. В навчальному посібнику висвітлено деякі питання фізики і техніки потужних лазерів та їх використання в лазерних технологіях виготовлення мiкроелектронних структур сучасних інтегральних схем високої ступені iнтеграцiї.
Type: Text
Image
Publication type: Книга, підручник
URI: https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/20030
Appears in Collections:Наукові публікації кафедри квантової електроніки

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Metodicka54_druc.pdf3.66 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.