Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/20030
Title: Лазерні джерела випромінювання та їх застосування в мікроелектроніці
Authors: Шуаібов, Олександр Камілович
Опачко, Іван Іванович
Качер, І.Е.
Чучман, Михайло Петрович
Keywords: лазерні джерела, випромінювання, мікроелектроніка, лазерне імпульсне осадження металів
Issue Date: 2009
Publisher: Видавництво УжНУ
Citation: Лазерні джерела випромінювання та їх застосування в мікроелектроніці : навч. посіб. / О. К. Шуаібов, І. І. Опачко, І. Е. Качер, М. П. Чучман. – Ужгород : Вид-во ДВНЗ "УжНУ", 2009. – 238 с. : табл., іл. – Бібліогр.: с. 231-232.
Abstract: Навчальний посібник “Лазерні джерела випромінювання та їх застосування у мікроелектроніці” підготовлено у відповідності до програм спеціальних курсів “Квантова електроніка”, “Фізика лазерів”, “Основи імпульсної техніки” і “Технологiя тонких плiвок», які вивчаються студентами старших курсів, що спеціалізуються на кафедрах квантової електроніки, твердотільної електроніки фізичного факультету та кафедри промислової електроніки інженерно-фізичного факультету. В навчальному посібнику висвітлено деякі питання фізики і техніки потужних лазерів та їх використання в лазерних технологіях виготовлення мiкроелектронних структур сучасних інтегральних схем високої ступені iнтеграцiї.
Description: Рекомендовано до друку редакційно-видавничою радою УжНУ, Протокол № 1 від 24 березня 2009 року.
Type: Text
Image
Publication type: Навчальний посібник
URI: https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/20030
Appears in Collections:Наукові публікації кафедри квантової електроніки

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Metodicka54_druc.pdf3.66 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.