Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/20030
Назва: | ЛАЗЕРНІ ДЖЕРЕЛА ВИПРОМІНЮВАННЯ ТА ЇХ ЗАСТОСУВАННЯ В МІКРОЕЛЕКТРОНІЦІ |
Автори: | Шуаібов, Олександр Камілович Опачко, Іван Іванович Качер, І.Е. Чучман, Михайло Петрович |
Ключові слова: | лазерні джерела, випромінювання, мікроелектроніка, лазерне імпульсне осадження металів |
Дата публікації: | 2009 |
Видавництво: | Видавництво УжНУ |
Бібліографічний опис: | Лазерні джерела випромінювання та їх застосування в мікроелектроніці : навч. посіб. // О. К. Шуаібов, І. І. Опачко, І. Е. Качер, М. П. Чучман – Ужгород : Видавництво УжНУ, 2009. – 238 с. |
Короткий огляд (реферат): | Навчальний посібник “Лазерні джерела випромінювання та їх застосування у мікроелектроніці” підготовлено у відповідності до програм спеціальних курсів “Квантова електроніка”, “Фізика лазерів”, “Основи імпульсної техніки” і “Технологiя тонких плiвок», які вивчаються студентами старших курсів, що спеціалізуються на кафедрах квантової електроніки, твердотільної електроніки фізичного факультету та кафедри промислової електроніки інженерно-фізичного факультету. В навчальному посібнику висвітлено деякі питання фізики і техніки потужних лазерів та їх використання в лазерних технологіях виготовлення мiкроелектронних структур сучасних інтегральних схем високої ступені iнтеграцiї. |
Опис: | Рекомендовано до друку редакційно-видавничою радою УжНУ, Протокол № 1 від 24 березня 2009 року. |
Тип: | Text Image |
Тип публікації: | Навчальний посібник |
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/20030 |
Розташовується у зібраннях: | Наукові публікації кафедри квантової електроніки |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
Metodicka54_druc.pdf | 3.66 MB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.