Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21392| Title: | Виготовлення елементів захисту інформації на плівці As4Se96 методом електронно–променевої літографії |
| Authors: | Біланич, Б. |
| Keywords: | електронна літографія, захисний елемент., халькогенідні плівки |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Вид-во УжНУ "Говерла" |
| Citation: | Біланич, Б. Виготовлення елементів захисту інформації на плівці As4Se96 методом електронно–променевої літографії [Текст] / Б. Біланич, О. Шиленко, В. т. Команіцкій // Науковий вісник Ужгородського університету : серія: Фізика / відп. ред. В. Різак; відп. за вип. М. Мар’ян. – Ужгород : Видавництво УжНУ "Говерла", 2017. – Вип. 42. – С. 8-12. – бібліогр.:с.8-12. |
| Abstract: | Досліджені особливості взаємодії електронного променя з халькогенідними плівками As4Se96. Вказано на існування точки інверсії електронно індукованого поверхневого рельєфу. На плівці As4Se96 реалізовано процес виготовлення оригіналу захисного елементу згідно зображення логотипу методом сухої електронної літографії. |
| Type: | Text |
| Publication type: | Стаття |
| URI: | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21392 |
| Appears in Collections: | Науковий вісник УжНУ Серія: Фізика. Випуск 42- 2017 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Виготовлення елементів захисту.pdf | 1.01 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.