Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21392
Назва: Виготовлення елементів захисту інформації на плівці As4Se96 методом електронно–променевої літографії
Автори: Біланич, Б.
Ключові слова: електронна літографія, захисний елемент., халькогенідні плівки
Дата публікації: 2017
Видавництво: Вид-во УжНУ "Говерла"
Бібліографічний опис: Біланич, Б. Виготовлення елементів захисту інформації на плівці As4Se96 методом електронно–променевої літографії [Текст] / Б. Біланич, О. Шиленко, В. т. Команіцкій // Науковий вісник Ужгородського університету : серія: Фізика / відп. ред. В. Різак; відп. за вип. М. Мар’ян. – Ужгород : Видавництво УжНУ "Говерла", 2017. – Вип. 42. – С. 8-12. – бібліогр.:с.8-12.
Короткий огляд (реферат): Досліджені особливості взаємодії електронного променя з халькогенідними плівками As4Se96. Вказано на існування точки інверсії електронно індукованого поверхневого рельєфу. На плівці As4Se96 реалізовано процес виготовлення оригіналу захисного елементу згідно зображення логотипу методом сухої електронної літографії.
Тип: Text
Тип публікації: Стаття
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21392
Розташовується у зібраннях:Науковий вісник УжНУ Серія: Фізика. Випуск 42- 2017

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
Виготовлення елементів захисту.pdf1.01 MBAdobe PDFПереглянути/Відкрити


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.