Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/28546| Title: | Радикало–лучевая геттерирующая эпитаксия–новый метод в технологии полупроводниковых материалов F3B5 |
| Authors: | Котляревский, М. Б. Кидалов, В. В. Ревенко, А. С. |
| Issue Date: | 2001 |
| Publisher: | ПП "Шарк" |
| Citation: | Котляревский, М. Б. Радикало–лучевая геттерирующая эпитаксия–новый метод в технологии полупроводниковых материалов F3B5 [Текст] / М. Б. Котляревский, В. В. Кидалов, А. С. Ревенко // Науковий вісник Ужгородського університету : серія: Фізика / редкол.: І. Небола (відпов. ред.), Д. Блецкан, О. Герзанич та ін. – Ужгород : ПП "Шарк", 2001. – Вип. 10. – C. 217-220. – Библиогр.: с. 200 (6 назв). – Рез. англ. |
| Type: | Text |
| Publication type: | Стаття |
| URI: | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/28546 |
| Appears in Collections: | Науковий вісник УжНУ Серія: Фізика. Випуск 10 - 2001 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Радикало-лучевая геттерирующая эпитаксия – новый метод в технологии полупроводниковых материалов АВ.pdf | 427.5 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.