Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/49064
Title: | Технологія напилення плівок компонентами плазми, створеної наносекундними лазерними імпульсами |
Other Titles: | Echnology of spraying laminas with nanosecond laser pulses |
Authors: | Жигуц, Юрій Юрійович Рудь, В. Д. Лазар, В. Ф. |
Keywords: | цуги, лазерні імпульси, мішень, фаза, напилення, періодичні структури, pulse group, laser pulses, target, phase |
Issue Date: | 2021 |
Publisher: | Вид-во ЛНТУ |
Citation: | Жигуц Ю. Ю., Рудь В. Д., Лазар В. Ф. Технологія напилення плівок компонентами плазми, створеної наносекундними лазерними імпульсами / Ю. Ю. Жигуц, В. Д. Рудь, Я. П. Легета // Наукові нотатки : міжвуз. зб. (за галузями знань "Фізико-математичні науки" та "Технічні науки") / Луц. нац. техн. ун-т. – Луцьк : Вид-во ЛНТУ, 2021. – № 71. – С. 282 - 285. |
Abstract: | Для оптимізації технологічного процесу ефективного застосування ексимерних лазерів для потреб плівкових технологій необхідні дані проосновні параметрипари, що конденсується на підкладку. Властивості плівок, отриманих розпиленням мішені наносекундними лазерними імпульсами та властивості парової фази виявилися практично недослідженими. У той же час, мас-спектрометричні та зондові дослідження парової фази дають змогу визначити низку важливих параметрів конденсації. Результатом проведених таких робіт стала розробка технології формування періодичних структур при опроміненні мішені цугом лазерних імпульсів, який забезпечує отримання якісних гетерогенних структур. n order to optimize the technological process of efficient use of excimer lasers for the needs of laminas technologies, information is needed on the main parameters of the vapour, which condenses on the substrate. However, the properties of films obtained by sputtering the target with nanosecond laser pulses and the properties of the vapour phase have not been studied in practice. At the same time, mass-spectrometric and probe studies of the vapour phase make it possible to determine a number of important condensation parameters, optimize the deposition process itself, and clarify the understanding of the physics of evaporation of complex targets. The work resulted in the development of a method for the formation of periodic structures upon irradiation by a train of laser pulses, which ensures the production of qualitative sublattice structures. Keywords: pulse group, laser pulses, target, phase, sputtering, periodic structures |
Type: | Text |
Publication type: | Стаття |
URI: | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/49064 |
ISSN: | 2415-3966 |
Appears in Collections: | Наукові публікації кафедри технології машинобудування |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
604-Текст статті-2196-1-10-20210916.pdf | 258.34 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.