Технологія напилення плівок компонентами плазми, створеної наносекундними лазерними імпульсами

Abstract

Для оптимізації технологічного процесу ефективного застосування ексимерних лазерів для потреб плівкових технологій необхідні дані проосновні параметрипари, що конденсується на підкладку. Властивості плівок, отриманих розпиленням мішені наносекундними лазерними імпульсами та властивості парової фази виявилися практично недослідженими. У той же час, мас-спектрометричні та зондові дослідження парової фази дають змогу визначити низку важливих параметрів конденсації. Результатом проведених таких робіт стала розробка технології формування періодичних структур при опроміненні мішені цугом лазерних імпульсів, який забезпечує отримання якісних гетерогенних структур.

n order to optimize the technological process of efficient use of excimer lasers for the needs of laminas technologies, information is needed on the main parameters of the vapour, which condenses on the substrate. However, the properties of films obtained by sputtering the target with nanosecond laser pulses and the properties of the vapour phase have not been studied in practice. At the same time, mass-spectrometric and probe studies of the vapour phase make it possible to determine a number of important condensation parameters, optimize the deposition process itself, and clarify the understanding of the physics of evaporation of complex targets. The work resulted in the development of a method for the formation of periodic structures upon irradiation by a train of laser pulses, which ensures the production of qualitative sublattice structures. Keywords: pulse group, laser pulses, target, phase, sputtering, periodic structures