Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/53001| Title: | СПОСІБ СИНТЕЗУ ТОНКИХ ПЛІВОК НА ОСНОВІ ЧЕТВЕРНОГО ХАЛЬКОПІРИТУ СuАІІnSe2 |
| Authors: | Шуаібов, Олександр Камілович Миня, Олександр Йосипович Грицак, Роксолана Володимирівна Гомокі, Золтан Тиберійович Малініна, Антоніна Олександрівна Малінін, Олександр Миколайович |
| Keywords: | мідь, індій, селен, алюміній |
| Issue Date: | 17-May-2023 |
| Abstract: | Винахід належить до фізики низькотемпературної плазми й нанотехнологій. Спосіб синтезу тонких плівок на основі четверного халькопіриту в азоті атмосферного тиску заснований на розпорошенні матеріалу алюмінієвого і халькопіритового електродів СиІпSе2 у сильному електричному полі перенапруженого наносекундного розряду, який запалюється від біполярного джерела імпульсів високої напруги наносекундної тривалості. Для синтезу тонких плівок використано явище вибухової емісії неоднорідностей на поверхні алюмінієвого і халькопіритового електродів у сильному електричному полі, що створює потік парів міді, ІНДІЮ, селену і алюмінію, який в подальшому конденсується у формі тонкої плівки на основі четверної сполуки СиАІІпввг на встановленій поблизу діелектричній підкладці. Винахід забезпечує спрощення способу. |
| Type: | Text |
| Publication type: | Патент |
| URI: | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/53001 |
| Appears in Collections: | Наукові публікації кафедри квантової електроніки |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 127151.pdf | 3.07 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.