Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/69043| Title: | Автоматизація вимірювань швидкості хімічного травлення тонких плівок |
| Authors: | Іваницький, Валентин Петрович Рубіш, Василь Михайлович Тарнай, А. А. Чичура, Ігор Іванович Рубіш, Василь Васильович Далекорей, Анатолій Васильович Мешко, Роман Олексійович Рябощук, Михайло Михайлович Цигика, Володимир Васильович |
| Keywords: | автоматизація процесів хімічного травлення, халько- генідні аморфні плівки, фоторезисти, інтерференційні методи контролю товщини |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | Ін-т проблем реєстрації інформ. Нац. акад. наук України |
| Citation: | В. П. Іваницький, В. М. Рубіш, А. А. Тарнай, І. І. Чичура, В. В. Рубіш, А. В. Далекорей, Р. О. Мешко, М. М. Рябощук, В. В. Цигика. Автоматизація вимірювань швидкості хімічного травлення тонких плівок. - Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2024, Т. 26, № 2, с. 81 – 91. |
| Abstract: | Проаналізовано особливості застосування інтерференційного методу для контролю товщини тонких плівок і вимірювань їхньої швидкості травлення. Розроблено оптичну структурну схему інтерференційного методу, яка є оптимальною для автоматичного вимірювання швидкості травлення тонких плівок. Як елементи всього оптичного тракту схеми рекомендовано застосовувати оптичні волокна. Експериментально досліджено закономірності змін інтерференційної картини на тонких плівках As2S3 під час їхнього хімічного травлення у водному розчині карбонату натрію. Проведено оцінку абсолютної похибки автоматичних вимірювань швидкості травлення, яка не перевищує ± 0,5 нм/с. Показано, що запропоновані підходи придатні для проектування пристроїв автоматичного контролю процесів хімічного травлення різних речовин. |
| Description: | DOI: https://doi.org/10.35681/1560-9189.2024.26.2.316977 |
| Type: | Text |
| Publication type: | Стаття |
| URI: | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/69043 |
| ISSN: | 1560-9189 |
| Appears in Collections: | Наукові публікації кафедри приладобудування |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Текст статті-кат Б 2024.pdf | 450.82 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.