Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/69043| Назва: | Автоматизація вимірювань швидкості хімічного травлення тонких плівок |
| Автори: | Іваницький, Валентин Петрович Рубіш, Василь Михайлович Тарнай, А. А. Чичура, Ігор Іванович Рубіш, Василь Васильович Далекорей, Анатолій Васильович Мешко, Роман Олексійович Рябощук, Михайло Михайлович Цигика, Володимир Васильович |
| Ключові слова: | автоматизація процесів хімічного травлення, халько- генідні аморфні плівки, фоторезисти, інтерференційні методи контролю товщини |
| Дата публікації: | 2024 |
| Видавництво: | Ін-т проблем реєстрації інформ. Нац. акад. наук України |
| Бібліографічний опис: | В. П. Іваницький, В. М. Рубіш, А. А. Тарнай, І. І. Чичура, В. В. Рубіш, А. В. Далекорей, Р. О. Мешко, М. М. Рябощук, В. В. Цигика. Автоматизація вимірювань швидкості хімічного травлення тонких плівок. - Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2024, Т. 26, № 2, с. 81 – 91. |
| Короткий огляд (реферат): | Проаналізовано особливості застосування інтерференційного методу для контролю товщини тонких плівок і вимірювань їхньої швидкості травлення. Розроблено оптичну структурну схему інтерференційного методу, яка є оптимальною для автоматичного вимірювання швидкості травлення тонких плівок. Як елементи всього оптичного тракту схеми рекомендовано застосовувати оптичні волокна. Експериментально досліджено закономірності змін інтерференційної картини на тонких плівках As2S3 під час їхнього хімічного травлення у водному розчині карбонату натрію. Проведено оцінку абсолютної похибки автоматичних вимірювань швидкості травлення, яка не перевищує ± 0,5 нм/с. Показано, що запропоновані підходи придатні для проектування пристроїв автоматичного контролю процесів хімічного травлення різних речовин. |
| Опис: | DOI: https://doi.org/10.35681/1560-9189.2024.26.2.316977 |
| Тип: | Text |
| Тип публікації: | Стаття |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/69043 |
| ISSN: | 1560-9189 |
| Розташовується у зібраннях: | Наукові публікації кафедри приладобудування |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Текст статті-кат Б 2024.pdf | 450.82 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.