Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/69043| Название: | Автоматизація вимірювань швидкості хімічного травлення тонких плівок |
| Авторы: | Іваницький, Валентин Петрович Рубіш, Василь Михайлович Тарнай, А. А. Чичура, Ігор Іванович Рубіш, Василь Васильович Далекорей, Анатолій Васильович Мешко, Роман Олексійович Рябощук, Михайло Михайлович Цигика, Володимир Васильович |
| Ключевые слова: | автоматизація процесів хімічного травлення, халько- генідні аморфні плівки, фоторезисти, інтерференційні методи контролю товщини |
| Дата публикации: | 2024 |
| Издательство: | Ін-т проблем реєстрації інформ. Нац. акад. наук України |
| Библиографическое описание: | В. П. Іваницький, В. М. Рубіш, А. А. Тарнай, І. І. Чичура, В. В. Рубіш, А. В. Далекорей, Р. О. Мешко, М. М. Рябощук, В. В. Цигика. Автоматизація вимірювань швидкості хімічного травлення тонких плівок. - Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2024, Т. 26, № 2, с. 81 – 91. |
| Краткий осмотр (реферат): | Проаналізовано особливості застосування інтерференційного методу для контролю товщини тонких плівок і вимірювань їхньої швидкості травлення. Розроблено оптичну структурну схему інтерференційного методу, яка є оптимальною для автоматичного вимірювання швидкості травлення тонких плівок. Як елементи всього оптичного тракту схеми рекомендовано застосовувати оптичні волокна. Експериментально досліджено закономірності змін інтерференційної картини на тонких плівках As2S3 під час їхнього хімічного травлення у водному розчині карбонату натрію. Проведено оцінку абсолютної похибки автоматичних вимірювань швидкості травлення, яка не перевищує ± 0,5 нм/с. Показано, що запропоновані підходи придатні для проектування пристроїв автоматичного контролю процесів хімічного травлення різних речовин. |
| Описание: | DOI: https://doi.org/10.35681/1560-9189.2024.26.2.316977 |
| Тип: | Text |
| Тип публикации: | Стаття |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/69043 |
| ISSN: | 1560-9189 |
| Располагается в коллекциях: | Наукові публікації кафедри приладобудування |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Текст статті-кат Б 2024.pdf | 450.82 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.