Спектроеліпсометричні дослідження тонких плівок системи TiO₂–ZrO₂–HfO₂

Abstract

Проведено еліпсометричні та спектрометричні дослідження тонких плівок системи TiO₂–ZrO₂–HfO₂. Одержано дисперсійні залежності показників заломлення та коефіцієнтів екстинкції за допомогою оптико-рефрактометричного синтезу спектрів пропускання. Для опису та аналізу дисперсійних залежностей показників заломлення використано оптико-рефрактометричне співвідношення. Вивчено концентраційну поведінку ширини оптичної псевдощілини та показників заломлення тонких плівок системи TiO₂–ZrO₂–HfO₂. Досліджено вплив композиційного розупорядкування на край оптичного поглинання тонких плівок

Spectrometric and ellipsometric studies of TiO₂–ZrO₂–HfO₂ thin films were performed. The dispersive dependences of the refractive indeces and extinction coefficients are calculated due to the opticalrefractometric synthesis of the transmission spectra. The dispersion curves of the refractive indices are well described by the optical-refractometric relation. Compositional dependences of optical pseudogap and refractive indices of TiO₂–ZrO₂–HfO₂ thin films are investigated. Effect of compositional disordering on the optical absorption edge of the thin films under investigation is studied.