Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/14448
Title: | Спектроеліпсометричні дослідження тонких плівок системи TiO₂–ZrO₂–HfO₂ |
Other Titles: | Spectro-ellipsometric investigations of thin films of TiO₂–ZrO₂–HfO₂ systems |
Authors: | Нагусько, О.Т. Студеняк, Ігор Петрович |
Keywords: | система TiO₂–ZrO₂–HfO₂, тонкі плівки, еліпсометричні дослідження, спектрометричні дослідження, показнники заломлення, дисперсійні залежності |
Issue Date: | 2009 |
Publisher: | Видавництво УжНУ "Говерла" |
Citation: | Нагусько, О. Т. Спектроеліпсометричні дослідження тонких плівок системи TiO(2)–ZrO(2)–HfO(2) [Текст] / О. Т. Нагусько, І. П. Студеняк // Науковий вісник Ужгородського університету : Серія: Фізика / ред. кол.: В. Різак, В. Біланич, Ю. Височанський, О. Грабар. – Ужгород: Видавництво УжНУ «Говерла», 2009. – Вип. 26. – С. 104–117. – Бібліогр.: с. 114–116 (68 назв). |
Series/Report no.: | Фізика; |
Abstract: | Проведено еліпсометричні та спектрометричні дослідження тонких плівок системи
TiO₂–ZrO₂–HfO₂. Одержано дисперсійні залежності показників заломлення та коефіцієнтів
екстинкції за допомогою оптико-рефрактометричного синтезу спектрів пропускання. Для опису та
аналізу дисперсійних залежностей показників заломлення використано оптико-рефрактометричне
співвідношення. Вивчено концентраційну поведінку ширини оптичної псевдощілини та показників
заломлення тонких плівок системи TiO₂–ZrO₂–HfO₂. Досліджено вплив композиційного
розупорядкування на край оптичного поглинання тонких плівок Spectrometric and ellipsometric studies of TiO₂–ZrO₂–HfO₂ thin films were performed. The dispersive dependences of the refractive indeces and extinction coefficients are calculated due to the opticalrefractometric synthesis of the transmission spectra. The dispersion curves of the refractive indices are well described by the optical-refractometric relation. Compositional dependences of optical pseudogap and refractive indices of TiO₂–ZrO₂–HfO₂ thin films are investigated. Effect of compositional disordering on the optical absorption edge of the thin films under investigation is studied. |
Type: | Text |
Publication type: | Стаття |
URI: | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/14448 |
Appears in Collections: | Науковий вісник УжНУ Серія: Фізика. Випуск 26 - 2009 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
11.Спектроеліпсометричні дослідження тонких плівок системи TiO2–ZrO2–HfO2.pdf | 384.72 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.