Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/14448
Назва: | Спектроеліпсометричні дослідження тонких плівок системи TiO₂–ZrO₂–HfO₂ |
Інші назви: | Spectro-ellipsometric investigations of thin films of TiO₂–ZrO₂–HfO₂ systems |
Автори: | Нагусько, О.Т. Студеняк, Ігор Петрович |
Ключові слова: | система TiO₂–ZrO₂–HfO₂, тонкі плівки, еліпсометричні дослідження, спектрометричні дослідження, показнники заломлення, дисперсійні залежності |
Дата публікації: | 2009 |
Видавництво: | Видавництво УжНУ "Говерла" |
Бібліографічний опис: | Нагусько, О. Т. Спектроеліпсометричні дослідження тонких плівок системи TiO(2)–ZrO(2)–HfO(2) [Текст] / О. Т. Нагусько, І. П. Студеняк // Науковий вісник Ужгородського університету : Серія: Фізика / ред. кол.: В. Різак, В. Біланич, Ю. Височанський, О. Грабар. – Ужгород: Видавництво УжНУ «Говерла», 2009. – Вип. 26. – С. 104–117. – Бібліогр.: с. 114–116 (68 назв). |
Серія/номер: | Фізика; |
Короткий огляд (реферат): | Проведено еліпсометричні та спектрометричні дослідження тонких плівок системи
TiO₂–ZrO₂–HfO₂. Одержано дисперсійні залежності показників заломлення та коефіцієнтів
екстинкції за допомогою оптико-рефрактометричного синтезу спектрів пропускання. Для опису та
аналізу дисперсійних залежностей показників заломлення використано оптико-рефрактометричне
співвідношення. Вивчено концентраційну поведінку ширини оптичної псевдощілини та показників
заломлення тонких плівок системи TiO₂–ZrO₂–HfO₂. Досліджено вплив композиційного
розупорядкування на край оптичного поглинання тонких плівок Spectrometric and ellipsometric studies of TiO₂–ZrO₂–HfO₂ thin films were performed. The dispersive dependences of the refractive indeces and extinction coefficients are calculated due to the opticalrefractometric synthesis of the transmission spectra. The dispersion curves of the refractive indices are well described by the optical-refractometric relation. Compositional dependences of optical pseudogap and refractive indices of TiO₂–ZrO₂–HfO₂ thin films are investigated. Effect of compositional disordering on the optical absorption edge of the thin films under investigation is studied. |
Тип: | Text |
Тип публікації: | Стаття |
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/14448 |
Розташовується у зібраннях: | Науковий вісник УжНУ Серія: Фізика. Випуск 26 - 2009 |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
11.Спектроеліпсометричні дослідження тонких плівок системи TiO2–ZrO2–HfO2.pdf | 384.72 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.