Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21619Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Опачко, Іван Іванович | - |
| dc.date.accessioned | 2018-10-26T09:09:26Z | - |
| dc.date.available | 2018-10-26T09:09:26Z | - |
| dc.date.issued | 1999 | - |
| dc.identifier.citation | Опачко І.І.Про можливість напилення періодичних структур цугом наносекундних лазерних імпульсів //Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика №5, 1999 | uk |
| dc.identifier.uri | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21619 | - |
| dc.description | The possibility of realization of the proposed mode of sputtering of thin-layer periodic structures from components of a laser plasma is shown experimentally. The deposition process is based on the facts created on different targets by a pulse of laser pulses. | uk |
| dc.description.abstract | В роботі експериментально показана можливість реалізації запропонованого режиму напилення тонкошарових періодичних структур з компонент лазерної плазми. Процес напилення здійснюється з фактів, створених на різних мішенях цугом лазерних імпульсів. Експериментально підтверджено критерій, який дає змогу забезпечити бефракційний "вибуховий" режим випаровування мішеней і отримувати багатошарові структури з різкими міжшаровими межами | uk |
| dc.language.iso | uk | uk |
| dc.publisher | Ужгород: УжНУ | uk |
| dc.relation.ispartofseries | стаття;4 | - |
| dc.subject | напилення періодичних структур цугом лазерних імпульсів | uk |
| dc.subject | напилення, лазерний імпульс, тонкошарові періодичні структури | uk |
| dc.title | Про можливість напилення періодичних структур цугом наносекундних лазерних імпульсів | uk |
| dc.title.alternative | On the possibility of sputtering periodic structures by a nanosecond laser pulse | uk |
| dc.type | Text | uk |
| dc.pubType | Стаття | uk |
| Appears in Collections: | Наукові публікації кафедри електронних систем | |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.