Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21619| Назва: | Про можливість напилення періодичних структур цугом наносекундних лазерних імпульсів |
| Інші назви: | On the possibility of sputtering periodic structures by a nanosecond laser pulse |
| Автори: | Опачко, Іван Іванович |
| Ключові слова: | напилення періодичних структур цугом лазерних імпульсів, напилення, лазерний імпульс, тонкошарові періодичні структури |
| Дата публікації: | 1999 |
| Видавництво: | Ужгород: УжНУ |
| Бібліографічний опис: | Опачко І.І.Про можливість напилення періодичних структур цугом наносекундних лазерних імпульсів //Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика №5, 1999 |
| Серія/номер: | стаття;4 |
| Короткий огляд (реферат): | В роботі експериментально показана можливість реалізації запропонованого режиму напилення тонкошарових періодичних структур з компонент лазерної плазми. Процес напилення здійснюється з фактів, створених на різних мішенях цугом лазерних імпульсів. Експериментально підтверджено критерій, який дає змогу забезпечити бефракційний "вибуховий" режим випаровування мішеней і отримувати багатошарові структури з різкими міжшаровими межами |
| Опис: | The possibility of realization of the proposed mode of sputtering of thin-layer periodic structures from components of a laser plasma is shown experimentally. The deposition process is based on the facts created on different targets by a pulse of laser pulses. |
| Тип: | Text |
| Тип публікації: | Стаття |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21619 |
| Розташовується у зібраннях: | Наукові публікації кафедри електронних систем |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Op_4.pdf | 398.01 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.