Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21619| Title: | Про можливість напилення періодичних структур цугом наносекундних лазерних імпульсів |
| Other Titles: | On the possibility of sputtering periodic structures by a nanosecond laser pulse |
| Authors: | Опачко, Іван Іванович |
| Keywords: | напилення періодичних структур цугом лазерних імпульсів, напилення, лазерний імпульс, тонкошарові періодичні структури |
| Issue Date: | 1999 |
| Publisher: | Ужгород: УжНУ |
| Citation: | Опачко І.І.Про можливість напилення періодичних структур цугом наносекундних лазерних імпульсів //Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика №5, 1999 |
| Series/Report no.: | стаття;4 |
| Abstract: | В роботі експериментально показана можливість реалізації запропонованого режиму напилення тонкошарових періодичних структур з компонент лазерної плазми. Процес напилення здійснюється з фактів, створених на різних мішенях цугом лазерних імпульсів. Експериментально підтверджено критерій, який дає змогу забезпечити бефракційний "вибуховий" режим випаровування мішеней і отримувати багатошарові структури з різкими міжшаровими межами |
| Description: | The possibility of realization of the proposed mode of sputtering of thin-layer periodic structures from components of a laser plasma is shown experimentally. The deposition process is based on the facts created on different targets by a pulse of laser pulses. |
| Type: | Text |
| Publication type: | Стаття |
| URI: | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21619 |
| Appears in Collections: | Наукові публікації кафедри електронних систем |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.