Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21619| Название: | Про можливість напилення періодичних структур цугом наносекундних лазерних імпульсів |
| Другие названия: | On the possibility of sputtering periodic structures by a nanosecond laser pulse |
| Авторы: | Опачко, Іван Іванович |
| Ключевые слова: | напилення періодичних структур цугом лазерних імпульсів, напилення, лазерний імпульс, тонкошарові періодичні структури |
| Дата публикации: | 1999 |
| Издательство: | Ужгород: УжНУ |
| Библиографическое описание: | Опачко І.І.Про можливість напилення періодичних структур цугом наносекундних лазерних імпульсів //Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика №5, 1999 |
| Серия/номер: | стаття;4 |
| Краткий осмотр (реферат): | В роботі експериментально показана можливість реалізації запропонованого режиму напилення тонкошарових періодичних структур з компонент лазерної плазми. Процес напилення здійснюється з фактів, створених на різних мішенях цугом лазерних імпульсів. Експериментально підтверджено критерій, який дає змогу забезпечити бефракційний "вибуховий" режим випаровування мішеней і отримувати багатошарові структури з різкими міжшаровими межами |
| Описание: | The possibility of realization of the proposed mode of sputtering of thin-layer periodic structures from components of a laser plasma is shown experimentally. The deposition process is based on the facts created on different targets by a pulse of laser pulses. |
| Тип: | Text |
| Тип публикации: | Стаття |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/21619 |
| Располагается в коллекциях: | Наукові публікації кафедри електронних систем |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Op_4.pdf | 398.01 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.