Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/23745| Title: | Излучение имплантационных профилей алюминия в кремнии методом ионно-фотонной спектроскопии |
| Authors: | Поп, Степан Степанович Бандурин, Юрий Анатольевич Демаков, Константин Дмитриевич Никольский, Юрий Владимирович Столярова, Владимир Григорьевич Дробнич, Володимир Григорович |
| Issue Date: | 1986 |
| Publisher: | Москва: АН СССР |
| Citation: | Поп С.С., Бандурин Ю.А., Демаков К.Д., Дробнич В.Г., Никльский Ю.В., Столярова В.Г., ''Излучение имплантационных профилей алюминия в кремнии методом ионно-фотонной спектроскопии'', Москва: АН СССР, Радиотехника и электроника, т. 31, №1, 1986. - С. 210-212. |
| Series/Report no.: | Радиотехника и электроника;Том XXXI |
| Abstract: | В данной роботе проведены методами ИФС и ОЭС проведены измерения профилей распределения концентрации Ai, имплантированного в Si энергией 40 кэВ. |
| Type: | Text |
| Publication type: | Стаття |
| Gov't Doc #: | 1 |
| URI: | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/23745 |
| Appears in Collections: | Наукові публікації кафедри фізичної географії та раціонального природокористування |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Изучение имплантационных профилей алюминия в кремнии методом ионно-фотонной спектроскопии.pdf | 1.45 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.