Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/23745| Назва: | Излучение имплантационных профилей алюминия в кремнии методом ионно-фотонной спектроскопии |
| Автори: | Поп, Степан Степанович Бандурин, Юрий Анатольевич Демаков, Константин Дмитриевич Никольский, Юрий Владимирович Столярова, Владимир Григорьевич Дробнич, Володимир Григорович |
| Дата публікації: | 1986 |
| Видавництво: | Москва: АН СССР |
| Бібліографічний опис: | Поп С.С., Бандурин Ю.А., Демаков К.Д., Дробнич В.Г., Никльский Ю.В., Столярова В.Г., ''Излучение имплантационных профилей алюминия в кремнии методом ионно-фотонной спектроскопии'', Москва: АН СССР, Радиотехника и электроника, т. 31, №1, 1986. - С. 210-212. |
| Серія/номер: | Радиотехника и электроника;Том XXXI |
| Короткий огляд (реферат): | В данной роботе проведены методами ИФС и ОЭС проведены измерения профилей распределения концентрации Ai, имплантированного в Si энергией 40 кэВ. |
| Тип: | Text |
| Тип публікації: | Стаття |
| Держ. док-т: | 1 |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/23745 |
| Розташовується у зібраннях: | Наукові публікації кафедри фізичної географії та раціонального природокористування |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Изучение имплантационных профилей алюминия в кремнии методом ионно-фотонной спектроскопии.pdf | 1.45 MB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.