Please use this identifier to cite or link to this item: https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/48809
Title: Визначення оптичних констант напівпровідникових матеріалів за допомогою еліпсометра
Authors: Жихарєв, Володимир Миколайович
Козак, Мирослав Іванович
Keywords: еліпсометрія, метод визначення показника заломлення
Issue Date: 2017
Publisher: ФОП "Сабов А.М."
Citation: Жихарєв В. М. Визначення оптичних констант напівпровідникових матеріалів за допомогою еліпсометра : методична розробка / В. М. Жихарєв, М. І. Козак. – Ужгород, 2017. – 70 с.
Abstract: Методична розробка написана для студентів фізичного факультету ДВНЗ “УжНУ”, які вивчають розділ загальної фізики “Оптика” і має на меті розширити їх теоретичні і практичні знання з методів визначення оптичних параметрів різноманітних матеріалів та їх застосуванню. Також вона може бути використана як методичний посібник до лабораторної роботи у спецкурсі “Методи визначення параметрів напівпровідникових матеріалів”.
Description: Надано рекомендації щодо підготовки, виконання та оформлення лабораторної роботи “Визначення комплексного показника заломлення та товщини плівок за допомогою еліпсометра ЛЕФ-3М-1”, де описано принцип роботи еліпсометра, методика вимірювання поляризаційних кутів та розрахунок відповідних оптичних параметрів.
Type: Text
Publication type: Методичні рекомендації
URI: https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/48809
Appears in Collections:Навчально-методичні матеріали кафедри фізики напівпровідників

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Жихарєв В.М. Козак М.І. Визначення оптичних констант еліпсометром.pdfНавчально-методичний посібник з еліпсометрії1 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.