Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/48809
Назва: | Визначення оптичних констант напівпровідникових матеріалів за допомогою еліпсометра |
Автори: | Жихарєв, Володимир Миколайович Козак, Мирослав Іванович |
Ключові слова: | еліпсометрія, метод визначення показника заломлення |
Дата публікації: | 2017 |
Видавництво: | ФОП "Сабов А.М." |
Бібліографічний опис: | Жихарєв В. М. Визначення оптичних констант напівпровідникових матеріалів за допомогою еліпсометра : методична розробка / В. М. Жихарєв, М. І. Козак. – Ужгород, 2017. – 70 с. |
Короткий огляд (реферат): | Методична розробка написана для студентів фізичного факультету ДВНЗ “УжНУ”, які вивчають розділ загальної фізики “Оптика” і має на меті розширити їх теоретичні і практичні знання з методів визначення оптичних параметрів різноманітних матеріалів та їх застосуванню. Також вона може бути використана як методичний посібник до лабораторної роботи у спецкурсі “Методи визначення параметрів напівпровідникових матеріалів”. |
Опис: | Надано рекомендації щодо підготовки, виконання та оформлення лабораторної роботи “Визначення комплексного показника заломлення та товщини плівок за допомогою еліпсометра ЛЕФ-3М-1”, де описано принцип роботи еліпсометра, методика вимірювання поляризаційних кутів та розрахунок відповідних оптичних параметрів. |
Тип: | Text |
Тип публікації: | Методичні рекомендації |
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/48809 |
Розташовується у зібраннях: | Навчально-методичні матеріали кафедри фізики напівпровідників |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
Жихарєв В.М. Козак М.І. Визначення оптичних констант еліпсометром.pdf | Навчально-методичний посібник з еліпсометрії | 1 MB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.