Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/6368
Title: | Исследование процессов получения и некоторые электрофизические характеристики эпитаксиальных структур Si–Ge на подложках Si и Si–Ge. |
Other Titles: | Investigation of processes of obtaining and some electrical characteristics of epitaxial structures Si-Ge on Si and Si-Ge substrate. |
Authors: | Журавлёв, А.Ю. Семёнов, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. Шиян, А.В. Бокучава, Г.В. Дарсавелидзе, Г.Ш. Чиковани, Р.И. |
Keywords: | эпитаксиальная структура, кремний, германий, лазерная масс-спектрометрия |
Issue Date: | 2011 |
Publisher: | Видавництво УжНУ "Говерла" |
Citation: | Исследование процессов получения и некоторые электрофизические характеристики эпитаксиальных структур Si–Ge на подложках Si и Si–Ge / А. Ю. Журавлев, Н. А. Семенов, В. И. Шеремет и др. // Науковий вісник Ужгородського університету : Серія: Фізика / редкол.: В. Різак, В. Біланич, Ю. Височанський, О. Грабар. – Ужгород: Видавництво УжНУ «Говерла», 2011. – Вип.29. – С. 30–36. – Бібліогр.: с. 34–35 (12 назв). |
Series/Report no.: | Фізика; |
Abstract: | В работе исследовались процессы получения эпитаксиальных структур Si—Ge
на подложках Si и Si—Ge методом совместного водородного восстановления
тетрахлоридов кремния и германия. Полученные экспериментальные образцы
эпитаксиальных структур изучались методами лазерной масс-спектрометрии,
микрорентгеноспектрального анализа, растровой микроскопии, ядерно-
физическим методом.
Ключевые слова: эпитаксиальная структура, кремний, германий, лазерная
масс-спектрометрия. In the present study we investigated the processes of obtaining epitaxial layers Si-Ge on Si and Si-Ge substrate by hydrogen reduction of silicon tetrachloride and germanium. The experimental samples of the epitaxial structures have been studied by laser mass spectrometry, electron microprobe analysis, scanning microscopy, nuclear-physical method. Key words: epitaxial layers, silicon tetrachloride, germanium, laser mass spectrometry. |
Type: | Text |
Publication type: | Стаття |
URI: | https://dspace.uzhnu.edu.ua/jspui/handle/lib/6368 |
Appears in Collections: | Науковий вісник УжНУ Серія: Фізика. Випуск 29 - 2011 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ПОЛУЧЕНИЯ.pdf | 328.49 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.